離子去膠機 型號：PR-3

通過等離子體方法，對陶瓷片、矽片等襯底材料圖形上的光刻膠進行幹法去除。設備為單室真空係統，主要由真空係統、氣路係統、電氣係統、射頻電源係統、控製係統、冷卻係統、報警係統等部分組成。

離子去膠機 型號：PR-3

離子去膠機 

通過等離子體(ti) 方法，對陶瓷片、矽片等襯底材料圖形上的光刻膠進行幹法去除。設備為(wei) 單室真空係統，主要由真空係統、氣路係統、電氣係統、射頻電源係統、控製係統、冷卻係統、報警係統等部分組成。 
射頻電源采用RF500W電源控製。 
氣路係統采用兩(liang) 台浮子流量計控製氣體(ti) 進氣。
  腔室結構：臥式、純石英
  真空室規格：F210´300mm
  限真空：1Pa（環境濕度≤55%）
  真空係統:機械泵
  大裝片直徑: F4英寸
   大裝片容量：4英寸 25片/爐
  去膠速率: ～500A/min
  去膠不均勻性：≤±5％ (φ4吋範圍內(nei) )
  操作方式:手動方式
用戶可選配全自動控製方式

通過等離子體(ti) 方法，對陶瓷片、矽片等襯底材料圖形上的光刻膠進行幹法去除。設備為(wei) 單室真空係統，主要由真空係統、氣路係統、電氣係統、射頻電源係統、控製係統、冷卻係統、報警係統等部分組成。 
射頻電源采用RF500W電源控製。 
氣路係統采用兩(liang) 台浮子流量計控製氣體(ti) 進氣。
  腔室結構：臥式、純石英
  真空室規格：F210´300mm
  限真空：1Pa（環境濕度≤55%）
  真空係統:機械泵
  大裝片直徑: F4英寸
   大裝片容量：4英寸 25片/爐
  去膠速率: ～500A/min
  去膠不均勻性：≤±5％ (φ4吋範圍內(nei) )
  操作方式:手動方式
用戶可選配全自動控製方式

產品名稱：電子皂膜流量計 產品型號：BL100

電子皂膜流量計 型號：BL100

應用領域：於(yu) 任何氣體(ti) 或液體(ti) 流量的檢測，廣泛應用於(yu) 各類實驗室氣體(ti) 流量的校準，包括大氣采樣器的流量校準、粉塵采樣器的流量校準，玻璃轉子流量計的校準，以及各類色譜儀(yi) 的流量測定。
 
產(chan) 品描述：
BL係列電子皂膜流量計通過其內(nei) 部的電路控製單元與(yu) 敏感元件相結合來測量氣體(ti) 流量，其精度大大優(you) 於(yu) 用眼與(yu) 手掐秒表測定氣體(ti) 流量的做法，是取代手持式皂膜管加秒表的Z佳選擇。該係列電子皂膜流量計液晶顯示，具有溫度、壓力、容積的校正功能，用戶通過現場自我校正，可得出被測氣體(ti) 的體(ti) 積流量，可單次測定氣體(ti) 流量，也可以對流量測定十次後取平均值。
技術參數：
Ø 測量範圍：0.1mL～100mL/min 
Ø 測量精度：△Q﹤±1％。
Ø 測量方式：濕式 
Ø 時間範圍：0.1～1200.0s(內(nei) 部計算精確到0.01秒)。
Ø 內(nei) 裝標稱值為(wei) 8.4V、1200mA/h的充電電池，充滿電後待機時間﹥300小時。
充電次數﹥500次。
Ø 使用環境：0～45℃；0～70%RH（無結露）
Ø 重量：約950 g