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非接觸厚度電阻率測試儀(yi)
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非接觸厚度電阻率測試儀(yi) 型號：JXNRT1
非接觸厚度電阻率測試儀(yi)
一、測試原理
1、電阻率測試探頭原理
電阻率測試模塊是由一對共軸渦流傳(chuan) 感器，以及後續的處理電路組成。將半導體(ti) 矽片置於(yu) 兩(liang) 個(ge) 探頭的間隙中時，在電磁場的作用下，半導體(ti) 矽片中會(hui) 產(chan) 生渦流效應，通過檢測渦流效應的大小，可以換算出該矽片的電阻率和方塊電阻。本方法是一種非接觸無損測量的方法，不損傷(shang) 材料表麵，可以在大多數場合有效替代四探針法測試電阻率以及方塊電阻。
2、厚度測試探頭原理
厚度探頭采用的是一對共軸電容位移傳(chuan) 感器。電容傳(chuan) 感器具有重複性好，測試數值穩定，技術成熟等優(you) 點，廣泛用於(yu) 各種材料厚度的測試。
二、適用範圍
本設備為(wei) 非接觸無損測量設備，測試過程中對矽片表麵以及內(nei) 部不會(hui) 造成損傷(shang) 。特別適用於(yu) 代替四探針法用於(yu) 半導體(ti) 矽片成品分選檢驗。一台儀(yi) 器可以同時對厚度和電阻率兩(liang) 個(ge) 指標進行測試分選，減少了測試工序和測試時間，提高了測試效率。
典型的客戶：科研單位、矽片生產(chan) 廠商、半導體(ti) 器件生產(chan) 廠商、光伏企業(ye) 、導電薄膜研發生產(chan) 企業(ye) 。
三、儀(yi) 器構成
1、測試主機：1 台
2、電源線：1 根
3、串口數據線：1 根
4、電腦端軟件：1 套
5、塑料定位柱：2 個(ge)
四、儀(yi) 器外觀尺寸結構及圖片
1、整機尺寸：340*260*180mm
2、機箱顏色：電腦白
3、儀(yi) 器結構：本儀(yi) 器采用厚度探頭和電阻率探頭前後並列安裝的方式。
五、儀(yi) 器主要指標
1、電氣規格
a. 使用標準三插頭，由 220V 交流電供電，整機功耗小於(yu) 15 瓦。
b. 本儀(yi) 器測試平台和外殼均為(wei) 金屬材料，按照安全規範，請確保電源地線正確連接。
2、測試範圍
測試樣品要求：厚度小於(yu) 600um 的半導體(ti) 矽片以及其他類似材料。(為(wei) 客戶提供特殊定製，厚度Z大的測試範圍可以擴展到 800um)
電阻率範圍： L 檔： 0.2-5 Ω·cm
H 檔： 5-50 Ω·cm
注： 電阻率不在上述量程範圍內(nei) 的可以按要求調整， 調整的範圍可以在0.001-100Ω*cm。
厚度範圍： 100-600 um （定製版可以做到 300-800um） 注：普通版本厚度大於(yu) 700um 的矽片無法放入測試區域。
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