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數字式電阻率測試儀(yi) 型號:M-2
數字式電阻率測試儀(yi)
是運用四探針測量原理的多種用途綜合測量裝置,它可以測量片狀,塊狀半導體(ti) 材料的徑向和軸向電阻率,測量擴散層的薄層電阻(也稱方塊電阻)。換上特製的四探針測試夾具,還可以對金屬導體(ti) 的低,中值電阻進行測量
是運用四探針測量原理的多種用途綜合測量裝置,它可以測量片狀,塊狀半導體(ti) 材料的徑向和軸向電阻率,測量擴散層的薄層電阻(也稱方塊電阻)。換上特製的四探針測試夾具,還可以對金屬導體(ti) 的低,中值電阻進行測量。
儀(yi) 器由主機,測試探頭(可選配測試台)等部分組成,測試結果用數字表頭直接顯示。主機主要由數控恒流源,高分辨率ADC,嵌入式單片機係統組成,自動轉換量程。測試探頭采用高耐磨碳化鎢探針製成,定位準確,遊移率較小,壽命長。
儀(yi) 器適用於(yu) 半導體(ti) 材料廠,半導體(ti) 器件廠,科研單位,高等院校對半導體(ti) 材料的電阻性能的測試。特別適用於(yu) 要求快速測量中低電阻率的場合.
工作條件為(wei) :
溫度:
相對濕度: 60% ~ 70%
工作室內(nei) 應無強電磁場幹擾,不與(yu) 高頻設備共用電源
二· 技術參數
1. 測量範圍:
電阻率:10 -2 ~ 102Ω-cm
方塊電阻:10 -1 ~ 103Ω/□
電阻:10 -3 ~ 9999Ω
2. 可測半導體(ti) 材料尺寸
直徑:15mm-100mm
長(或高)度:≤400mm
3. 測量方位:
軸向,徑向均可
4. 數字電壓表
量程:2V
誤差: :± 0.1% FSB ± 2LSB
Z大分辨力:10μA
精度: 18位ADC ( 5 1/2 位)
顯示:4位數字顯示,小數點自動顯示
5. 數控恒流源
電流輸出: 直流電流 2μA~ 2mA, 2μA步進可調,係統自動調整。
誤差:± 0.1% FSB ± 0.5LSB
6. 四探針測試探頭:
探針間距: 1mm
探針機械遊移率:± 1%
探針:碳化鎢,直徑0.5mm
7.電源:
DC 4.5V ~8V
功耗: < 1W
電源適配器:輸入: 220V±10% 50Hz
輸出:DC5V ± 10%
8. 外形尺寸:
主機: 170mm (長) X 130mm (寬) X50mm(高)