橢圓偏振測厚儀規格參數

橢圓偏振測厚儀(yi) 型號：TPY-1

儀(yi) 器介紹
TPY-1橢圓偏振測厚儀(yi) 采用消光法手動調節，自動測量薄膜厚度和折射率，精度高、靈敏度高、方便測量。光源采用氦氖激光器，功率穩定、波長精度高。儀(yi) 器軟件具有生成表、查表以及精確計算等功能，方便用戶使用。
規格參數
測量範圍薄膜厚度範圍：1nm-300nm；折射率範圍：1-10
測量厚度最小示值（nm）≤1
偏振器方位角範圍0°- 180°讀取分辨率為(wei) 0.05°
測量膜厚精度（nm）±1
折射率重複性精度±0.01
入射角調節範圍20°～90°精度為(wei) 0.05°
入射光波長（nm）632.8
光學中心高（mm）80
允許樣品尺寸（mm）φ10-φ140，厚度≤15
外形尺寸（mm）590*390*290
主機重量（kg）25