技術文章
Technical articles雙電測四探針電阻率測試儀(yi) 型號: RTS-9
采用了四探針雙電測組合(亦稱雙位組合)測量新技術,將範德堡測量方法推廣應用到直線四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換,在計算機控製下進行兩(liang) 次電測量,能自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械遊移等因素對測量結果的影響。因而每次測量不必知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表麵上的位置。由於(yu) 每次測量都是對幾何因素的影響進行動態的自動修正,因此顯著降低了幾何因素影響,從(cong) 而提高了測量結果的準確度。所有這些,用目前大量使用的常規四探針測量方法所生產(chan) 的儀(yi) 器是無法實現的。
雙電測四探針測試儀(yi) 四探針測試儀(yi) 四探針檢測儀(yi) 雙電測四探針測定儀(yi) 雙電測四探針電阻率測試儀(yi)
是一個(ge) 運行在計算機上擁有友好測試界麵的用戶程序。測試程序在計算機與(yu) RTS-9型四探針測試儀(yi) 連接的狀態下,通過計算機的並口實現通訊。
測試程序控製四探針測試儀(yi) 進行測量並實時采集兩(liang) 次組合模式下的測試數據,把采集到的數據在計算機中加以分析,然後把測試數據以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數據在電腦中保存或者打印以備日後參考和查看,還可以把采集到的數據輸出到Excel中,讓用戶對數據進行各種數據分析
測量範圍 電阻率:10-5~105 Ω.cm(可擴展);
方塊電阻:10-4~106 Ω/□(可擴展);
電導率:10-5~105 s/cm;
電阻:10-5~105 Ω;
雙電測四探針測試儀(yi) 四探針測試儀(yi) 四探針檢測儀(yi) 雙電測四探針測定儀(yi) 雙電測四探針電阻率測試儀(yi)
可測晶片厚度 ≤3mm
可測晶片直徑 140mmX150mm(配S-2A型測試台);
200mmX200mm(配S-2B型測試台);
400mmX500mm(配S-2C型測試台);
恒流源 電流量程分為(wei) 1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔,各檔電流連續可調
數字電壓表 量程及表示形式:000.00~199.99mV;
分辨力:10μV;
輸入阻抗:>1000MΩ;
精度:±0.1% ;
顯示:四位半紅色發光管數字顯示;性、量程自動顯示;
四探針探頭基本指標 間距:1±0.01mm;
針間絕緣電阻:≥1000MΩ;
機械遊移率:≤0.3%;
探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm;
探針壓力:5~16 牛頓(總力);
四探針探頭應用參數 (見探頭附帶的合格證)
模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進行) 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字
整機測量大相對誤差(用矽標樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±4%
整機測量標準不確定度 ≤4%
計算機通訊接口 並口
標準使用環境 溫度:23±2℃;
相對濕度:≤65%;
無高頻幹擾;
無強光直射;