高精度程控勻膠機型號SYSC-100A

高精度程控勻膠機型號：SYSC-100A
一.    產(chan) 品應用
SYSC-100A高精度程控勻膠機（Spin Coater），又稱為(wei) 旋轉塗膜儀(yi) ，是一代旋轉塗膜設備。具有速度精度高、轉速穩定、旋轉加速度可控、勻膠過程多段程序控製等特點。主要用於(yu) 微電子、半導體(ti) 、太陽能電池、新能源、生物材料、光學器件等領域的表麵塗膜工藝，例如各類納米薄膜材料、光阻塗層、生物功能塗層的製備。
二.    產(chan) 品特點
1.     旋轉電機采用專(zhuan) 為(wei) 勻膠機設計的精密高速伺服電機。
2.     優(you) 異的旋轉加速性能，Z大旋轉加速度可達40000rpm/s（有負載的真實加速度）。
3.     兩(liang) 項安全互鎖功能：
 (1) 勻膠腔體(ti) 具有開啟、關(guan) 閉的檢測功能，確保腔體(ti) 關(guan) 閉後才可啟動，防止勻膠過程中飛片造**身傷(shang) 害；
 (2) 真空吸片具有真空檢測功能，若發生真空泄漏，基片無法吸附牢固，則立即停止運行。
4.     機身外殼采用SUS304不鏽鋼製作，防腐蝕、不生鏽、易清潔。
5.     勻膠腔體(ti) 采用德國勞士領NPP材料，經CNC一體(ti) 加工成型。接儲(chu) 脫離基片的膠液，避免進入真空管路和設備內(nei) 部。耐腐蝕、易清潔。
6.     旋轉吸片台采用德國勞士領PEEK材料，經CNC一體(ti) 加工成型。耐高溫、耐腐蝕、不變形。
7.     勻膠過程全自動分段程序控製。整個(ge) 勻膠過程Z多可分十段進行，每段的加速時間、旋轉速度、勻膠時間均可精密控製、連續可調。可儲(chu) 存50組工藝程序，隨時調用。
8.     7英寸液晶觸摸屏使控製更方便；運行狀態及各項參數實時顯示，更直觀了解勻膠進程；
9.     真空泵的開啟與(yu) 關(guan) 閉均為(wei) 自動程序控製，無需手動操作。
10.   旋轉前增加預吸片步驟，“預吸片時間”Z多為(wei) 99s，確保基片牢固吸附於(yu) 旋轉台後再進行旋轉塗膜。勻膠完成後增加解吸片步驟，“解吸片時間”Z多為(wei) 99s，確保安全停止後再切斷真空，釋放基片，防止塗膜後的基片滑落，對膜層造成損傷(shang) 。
11.   標配無油真空泵，低噪音。大吸力將基片緊緊吸附於(yu) 旋轉台，防止飛片。
三.    技術參數
產(chan) 品型號SYSC-100A
可鍍膜基片尺寸Ø10～100mm
旋轉速度10～8000rpm
轉速分辨率1rpm
速度精度＜0.02%
旋塗加速度*0～40000rpm/s
每段加速時間999.9s
每段旋塗時間9999.9s
時間分辨率0.1s
預吸片時間99s
解吸片時間99s

**大旋塗加速度為(wei) 有負載條件下(使用≤Ø50mm基片)的真實加速度.