分體式勻膠機SC100-SR

分體(ti) 式勻膠機 型號：SC100-SR
　是一種小型、靈活和經濟的旋轉勻膠設備，它可以實現價(jia) 值百萬(wan) 美元設備（track）的上才可能達到穩定性和均勻性。
是一種主機和觸摸屏分開的分體(ti) 式勻膠機，主機被設計為(wei) 更小安裝尺寸或台麵嵌入式安裝來降低操作高度。SC100-SR可與(yu) 手套箱配套進行嵌入式安裝，控製盒放置在台麵上方便移動。

主要性能指標：
主機機箱采用不鏽鋼材料（抗化學腐蝕易清潔） 
旋塗程序：可存100組程序，每組100步，每個(ge) 步驟可精確到0.1秒 
轉動速度：0-10,000rpm（更高速可選） 
旋塗加速度：0-50,000rpm/sec（空載） 
馬達旋塗轉速穩定性能誤差 < ±1rpm 
轉速調節精度<1rpm，重複性< 1rpm 
工藝時間設定： 0-3,000 sec/step，時間設置精度：0.1sec 
支持wafer尺寸1cm-200mm（8”圓晶） 
旋塗作業(ye) 均勻性：< ±3% 在6英寸範圍內(nei) （需要去除邊緣3毫米區域測量）
產(chan) 品特性優(you) 點：
新的內(nei) 部緊湊設計，縮小了設備的尺寸。 
可進行嵌入式安裝，降低操作高度。 

7"觸屏控製麵板操作係統，更方便操作。 
Telon ®/polyethylene “密閉碗”設計可適合各種材料勻膠工藝。 
標準配置轉速10000rpm，並可根據用戶需要進行定製。 
采用工業(ye) 級別伺服電機，電機設計避免光刻膠等汙染物進入電機內(nei) 部。 
機身選用耐酸堿、耐衝(chong) 擊、耐腐蝕不鏽鋼，生鏽，便於(yu) 清洗。 
排風和抽氣係統位計於(yu) 載片台之底部 （以利於(yu) 排風效率和勻膠均一性）。 
透明可視，耐化學腐蝕的密封蓋，可以在旋塗作業(ye) 時*隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發。